常用的微波干燥方法分为微波干燥和微波真空干燥。微波干燥利用的是微波穿透、吸收、反射的性质，在干燥过程中，物料中的极性溶剂分子吸收微波，将微波能转化成热能，故物料的温度由内而外形成温度梯度。此过程中热能不断积聚，并进一步转化成势能，而物料外周水分先行蒸发，由内而外又形成压力差，且传热与传质方向一致，故微波干燥具有干燥速率高、耗时少、干燥效果均匀、自动容易控制等特点。同时，微波干燥效果受到微波频率、干燥温度、干燥时间、物料尺寸及特性、物料混合干燥等因素的影响。
微波真空干燥物料过程分为加速阶段、恒速阶段、减速阶段。加速阶段与恒速阶段蒸发的主要是物料的自由水，减速阶段主要是结合水。干燥进入减速阶段，物料温度会迅速上升，需相应调节微波频率以平衡温度。降低减速干燥阶段的干燥速率，可以有效保留食品的颜色、外观和风味，并且耗能也在可接受的范围内。研究表明，干燥进入减速阶段时，甚至可以只用热气对流，而不需要其他条件。
